セラミックヒーター
| メーカー | アプライド・マテリアルズ |
|---|---|
| 型番 | 0040-85475 |
| カテゴリー | その他, 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント） |
| ウェハーサイズ | 12inch |
| 仕様（日本語） | ３００MM REV：004 |
| 管理番号 | A0099 |
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