マスフロ―コントローラ
| メーカー | 堀場エステック |
|---|---|
| 型番 | SEC-Z514MGX |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 電気部品 |
| 仕様（日本語） | ガス：N2 バルブ：C |
| 管理番号 | A0080 |
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