ウェーハ搬送ロボット用コントローラ

メーカーASYST
型番CS-7100
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
シリアル番号A41140401-1
仕様（日本語）V：110-115
A：10
Hz:50/60
単相

UTX-F5500C-006B
管理番号 A037
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