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| メーカー | ASYST |
|---|---|
| 型番 | CS-7100 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント） |
| シリアル番号 | A41140401-1 |
| 仕様（日本語） | V：110-115 A：10 Hz:50/60 単相 UTX-F5500C-006B |
| 管理番号 | A0037 |
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