メインバルブ

メーカーCKD
型番VEC-VH8-X0108
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
シリアル番号9F002
管理番号 A031
Products

直流電源ケーブル(DC PWR CABLE)

メーカー
東京エレクトロン
型　番
2986-400-621-13

マスフローコントローラー

メーカー
ホリバ・ステック
型　番
SEC-E440J

マスフローコントローラー

メーカー
ホリバ・ステック
型　番
SEC-E440J

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ホリバ・ステック
型　番
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