RF電源/マッチングBOXセット

メーカーTOKYO HY-POWER
型番RFMB-200-RGN
年式2011
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント)
シリアル番号RF電源:M3RGN06A10001 マッチング:R2U01A11001
仕様(日本語)RF電源:RF-200-ULV
マッチング:MBPR-301ULV
管理番号 A028