ボード

メーカーキヤノン
型番BH8-3509-01
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
仕様（日本語）BM3-7702
BG8-5359
BG4-8998
管理番号 A0228
Products

サーボモーター

メーカー
アプライド・マテリアルズ
型　番
3970-00051

カセットアセンブリ

メーカー
アプライド・マテリアルズ
型　番
E11323340

均一化サセプタ(EC2用)

メーカー
日立
型　番
2-A01682-02

絶縁リング

メーカー
東京エレクトロン
型　番
2L05-350047-11

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