エア駆動バルブ

メーカーCKD
型番AMCP-LP-X4
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
仕様（日本語）TEL装置用
TEL型番：5011-00095-12
管理番号 A0221
Products

サーボモーター

メーカー
アプライド・マテリアルズ
型　番
3970-00051

カセットアセンブリ

メーカー
アプライド・マテリアルズ
型　番
E11323340

均一化サセプタ(EC2用)

メーカー
日立
型　番
2-A01682-02

絶縁リング

メーカー
東京エレクトロン
型　番
2L05-350047-11

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