パワーコントローラ
| メーカー | オムロン |
|---|---|
| 型番 | E5ZT-W08-2 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| シリアル番号 | 0006 |
| 管理番号 | A0168 |
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