パワーコントローラ

メーカーオムロン
型番E5ZT-W08-2
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー
シリアル番号0006
管理番号 A0168
Products

チューニングコントローラー

メーカー
ダイヘン
型　番
CMC-10A5

モーションコントローラ

メーカー
安川電機
型　番
SMC-4040

コントローラ

メーカー
エム・ケー・エス
型　番
250E-1-D

メインコントローラ

メーカー
萩原テクノソリューションズ
型　番
18020-00030

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