静電チャック下部電極

メーカー東京エレクトロン
型番2L10-150079-13
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
ウェハーサイズ12inch
シリアル番号8Z284T-07913
仕様（日本語）SCCM
管理番号 A0153
Products

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