搬送アーム
| メーカー | アスザック |
|---|---|
| 型番 | 60339-1938D |
| カテゴリー | その他, 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント） |
| ウェハーサイズ | 12inch |
| 管理番号 | A0117 |
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