ウエハ搬送システム

メーカーPRI Autmation
型番PRE-301B-L-ST
年式2001
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
シリアル番号PRE-10306
管理番号 A0008
Products

コータデベロッパー

メーカー
東京エレクトロン
型　番
MARK Ⅶ

モーションコントローラー

メーカー
THORLABS
型　番
TST001

モーションコントローラー

メーカー
THORLABS
型　番
TST001

分光用CCDカメラ

メーカー
ANDOR
型　番
DU440A-BV

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